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參數名稱	參數定義
真空泵的極限壓強	泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標準試驗罩 并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓強。
真空泵的抽氣速率	泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試 驗罩，并按規定條件工作時，從試驗罩 流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
真空泵的抽氣量	真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。
真空泵的起動壓強	真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用 時的壓強。
真空泵的前級壓強	真空泵的前級壓強 單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
真空泵的最大前級壓強	真空泵口最大前級壓強單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。
真空泵的最大工作壓強	真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指對應最大抽氣量 的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。
真空泵的壓縮比	壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
真空泵的何氏系數	泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速 之比。
真空泵的抽速系數	泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
真空泵的返流率	泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。
水蒸氣允許量	水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵 在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。
最大允許水蒸氣入口壓強	最大允許水蒸氣入口壓強 單位是Pa。它是指 在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強。

壓強范圍

真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）

活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105u20146.7×10-1 1×105

水環式真空泵 1×105u20142.7×103 1×105

羅茨真空泵 1.3×103u20141.3 1.3×103

渦輪分子泵1.3u20141.3×10-5 1.3

水蒸氣噴射泵 1×105u20141.3×10 -1 1×105

油擴散泵 1.3×10-2u20141.3×10 -7 1.3×10

油蒸氣噴射泵 1.3×10u20141.3×10 -2 1.3×105

分子篩吸附泵 1×105u20141.3×10 -1 1×105

濺射離子泵 1.3×10-3u20141.3×10 -9 6.7×10-1

鈦升華泵 1.3×10-2u20141.3×10 -9 1.3×10-2

鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10u20141.3×10 -11 1.3×10

低溫泵 1.3u20141.3×10-11 1.3u20141.3×10-1